| 发明名称 | 超导薄膜的缺陷修补方法、镀膜方法与以此方法制作的超导薄膜 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI488994 | 申请公布日期 | 2015.06.21 |
| 申请号 | TW103114060 | 申请日期 | 2014.04.17 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 黄昆平;陈锡铨;童迁祥;罗志伟;曾文彦 |
| 分类号 | C23C16/455;G01N21/84 | 主分类号 | C23C16/455 |
| 代理机构 | 代理人 | 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹东颖 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;刘亚君 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 | |
| 主权项 | 一种超导薄膜的缺陷修补方法，包括：在制作超导薄膜的过程中检测该超导薄膜；以及当检测出该超导薄膜中具有缺陷时，进行一薄膜沉积制程，以于该缺陷所在的位置形成一超导修补结构。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||