在ＤＳＡ类型系统中用于矽雷射退火的适合短波长光

主权项

一种热处理方法，其包含以下步骤：将一基材设置在一处理腔室内；选择复数种不同的电磁辐射波长，以热处理该基材；指引对应所选的复数种不同电磁辐射波长之复数个光源；以该所选的不同电磁辐射波长来将连续波电磁辐射从该复数个光源发射至一或多个准直器；同步绕射从该复数个光源发射出的该连续波电磁辐射；以及将该绕射的连续波电磁辐射聚焦为一辐射线条，其至少部分地延伸在该基材之一上表面上，以热处理该基材的一第一部分。