主权项 |
一种半导体装置,包括:一半导体层,包含一通道形成区及一杂质区;一闸极电极,在该通道形成区之上,该闸极电极和该通道形成区之间插入有一闸极绝缘膜;一矽化物层,覆盖该杂质区及该半导体层之一侧表面,且与该杂质区及该半导体层之该侧表面接触;一上方电极,覆盖该矽化物层;一层间绝缘膜,覆盖该半导体层、该闸极绝缘膜、该闸极电极及该上方电极;一接触孔,穿过该层间绝缘膜;以及一导线,在该层间绝缘膜之上;其中该闸极电极与该层间绝缘膜接触,其中该接触孔与堆叠该杂质区、该矽化物层及该上方电极之一区域重叠;且其中该导线与该上方电极接触于该接触孔之中。
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