发明名称 把手及把手组合
摘要
申请公布号 TWM503421 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW104202000 申请日期 2015.02.06
申请人 环球晶圆股份有限公司 发明人 张元豪;陈思婷;李德浩;谢启祥;施英汝;徐文庆
分类号 C30B15/32 主分类号 C30B15/32
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种把手,供装载多个晶圆盒,包含:一主体;一握持结构,设置于该主体;及多个卡固结构,相互间隔地设置于该主体,并分别供该等晶圆盒可分离地卡固其中。
地址 新竹市新竹科学工业园区工业东二路8号