静电吸盘结构

主权项

【第1项】一种静电吸盘结构，用以吸附一晶片(chip)，包括:一以氮化铝(Aln)材料制成的陶瓷载板；以及一加热层，设置于该以氮化铝材料制成的陶瓷载板的一侧表面上。