正型感放射线性组成物、硬化膜及其形成方法

主权项

一种正型感放射线性组成物，其系含有[A]矽氧烷聚合物、[B]重氮醌(quinonediazide)化合物及[C]具有比[B]重氮醌化合物的极大吸收波长短的极大吸收波长之感放射线性酸产生剂，其中[C]酸产生剂系选自由以下列式(1)、式(2)及式(3)各自表示之化合物构成的群组中之至少1种的化合物，
式(1)中，R1系羟基、碳原子数1~12的直链状或分支状的烷基、碳原子数6~12的芳香基或碳原子数1~12的烷氧基，但是上述烷基、芳香基及烷氧基具有的氢原子之一部分或全部可被取代；R2系氢原子、碳原子数1~7的直链状或分支状的烷基或碳原子数6~12的芳香基，但是上述烷基、芳香基及烷氧基具有的氢原子之一部分或全部可被取代；a系0~7的整数，b系0~10的整数，c系0~3的整数，但是在R1及R2各自为复数的情形下，复数的R1及R2可各自相同也可各自不同，又，在R2为复数的情形下，复数的R2之中，2个R2可互相地键结而形成环状结构；X系SbF6、(CnF2n+1)YPF6-Y或CnF2n+1SO3，Y系0~6的整数，n系1~6的整数；式(2)中，R3、R4及R5各自独立，系羟基、碳原子数1~12的直链状或分支状的烷基或碳原子数6~15的芳香基，但是，上述烷基及芳香基具有的氢原子之一部分或全部可被取代；d、e及f各自独立，系0~5的整数，惟d及f不同时为0；但是，在R3、R4及R5各自为复数的情形下，复数的R3、R4及R5可各自相同也可各自不同；X1系SbF6、(CnF2n+1)YPF6-Y或CnF2n+1SO3；Y系0~6的整数；n系1~6的整数；式(3)中，R6及R7各自独立，系碳原子数1~12的烷基、碳原子数4~20的脂环式烷基或碳原子数6~20的芳香基，但是，上述芳香基具有的氢原子之一部分或全部可被碳原子数1~12的烷氧基取代。