发明名称 清洗装置结构
摘要
申请公布号 TWM503651 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW104204836 申请日期 2015.03.31
申请人 信威超音波机械有限公司 发明人 张献鸿
分类号 H01L21/30;H05K3/26 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人 黄信嘉 台北市中正区衡阳路36号4楼;谢炜勇 台北市中正区衡阳路36号4楼
主权项 一种清洗装置结构,其包括:一清洗室,且该清洗室具有至少一清洗槽、一进物门及一取物门,该清洗槽安装于该清洗室内,而该进物门及该取物门系分别设于该清洗室表面;复数温度感应器,其系设于该清洗室内壁;至少一抽气装置,设于该清洗室外部;及至少一喷气装置,装附于该清洗室外部,且该喷气装置与该清洗室连接处设有复数喷气孔,当该等温度感应器感应到该清洗室内温度达到一反应温度时,该进物门、该取物门及该抽气装置均封闭,且该喷气装置系经由该等喷气孔向该清洗室内喷出一气体。
地址 新北市树林区光武街34巷7号