电子零件之制造方法及电极构造

主权项

一种电子零件之制造方法，其特征为，具备有：第1工程，系在被形成于被处理体处之开口径为15nm以下的凹部内，而形成第1电极构成层；和第2工程，系将前述第1电极构成层之表面氮化而形成氮化层；和第3工程，系在前述氮化层之上而形成第2电极构成层，前述第1工程，系一面藉由磁石单元来在靶材表面上形成磁场一面藉由溅镀法来成膜前述第1电极构成层，该磁石单元，系将复数之磁铁配置在多角形格子之格子点的位置处，并且以使邻接之该磁铁相互成为相异之极性的方式来作配置，前述第2工程，系一面藉由磁石单元来在靶材表面上形成磁场一面将前述第1电极构成层之表面氮化而形成前述氮化层，前述第3工程，系一面藉由磁石单元来在靶材表面上形成磁场一面藉由溅镀法来成膜前述第2电极构成层。