发明名称 BACKUP PIN AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要 이 백업 핀(9)은 베이스 플레이트(3)에 자력에 의해 고정된 상태로 기판(200)을 이면으로부터 지지하는 백업 핀(9)으로서, 베이스 플레이트에 고정가능한 고정부(91)와, 고정부의 내부에 배치됨과 아울러 고정부의 내부에서 상승 및 하강되도록 구성되고, 고정부를 자력에 의해 베이스 플레이트에 고정하기 위한 자석 부재(95)와, 자석 부재의 상방에 배치되고 고정부의 내부에서 상승됨으로써 자석 부재를 자력에 의해 상승시켜 고정부와 베이스 플레이트가 고정된 고정 상태를 해제하는 자성체 부재(94)를 구비한다.
申请公布号 KR20150068334(A) 申请公布日期 2015.06.19
申请号 KR20147001495 申请日期 2013.10.04
申请人 YAMAHA HATSUDOKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 UTSUMI TOMOYOSHI
分类号 H05K13/04 主分类号 H05K13/04
代理机构 代理人
主权项
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