发明名称 SOLAR CELL MANUFACTURING METHOD
摘要 적어도 pn 접합을 가지는 반도체 기판의 수광면측에 형성한 반사 방지막 상에 도전재를 포함하는 페이스트상의 전극제를 도포하는 공정(7)과, 상기 전극제 도포 부분에만 레이저광을 조사하여 상기 도전재의 적어도 일부가 소성하도록 가열하는 국소 가열 처리(공정(9a)) 및 상기 반도체 기판 전체를 800℃ 미만의 온도로 가열하는 전체 가열 처리(공정(9b))를 가지는 전극 소성 공정(9)을 포함하는 장기 신뢰성이 우수한 고효율의 태양 전지 셀의 제조 방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20150068415(A) 申请公布日期 2015.06.19
申请号 KR20157011128 申请日期 2013.08.23
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 MURAKAMI TAKASHI;WATABE TAKENORI;OTSUKA HIROYUKI
分类号 H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/04;H01L31/18 主分类号 H01L31/0224
代理机构 代理人
主权项
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