| 摘要 |
<p>Ein Verfahren umfasst einen Temperaturerhöhungsschritt zum Erhöhen einer Temperatur im Temperofen auf eine Temperatur innerhalb eines ersten Temperaturbereichs von einer Temperatur, die um 100°C niedriger ist als ein minimaler Schmelzpunkt, der ein niedrigster Schmelzpunkt unter Schmelzpunkten der jeweiligen Schichten der Mehrfachmetallschicht (14) ist, auf den minimalen Schmelzpunkt, einen Temperaturhalteschritt zum Halten der Temperatur innerhalb des ersten Temperaturbereichs, einen zweiten Temperaturerhöhungsschritt zum Erhöhen der Temperatur im Ofen auf eine Temperatur innerhalb eines zweiten Temperaturbereichs, die niedriger ist als ein maximaler Schmelzpunkt, der ein höchster Schmelzpunkt ist, und höher ist als der minimale Schmelzpunkt unter Schmelzpunkten der jeweiligen Schichten der Mehrfachmetallschicht, mit einer Temperaturerhöhungsgeschwindigkeit von 5°C/s bis 20°C/s und einen Temperschritt zum Halten der Temperatur innerhalb des zweiten Temperaturbereichs.</p> |
