| 摘要 |
<p>Ein Verfahren zur Herstellung eines Piezostapels (26) ist beschrieben, bei dem eine erste Schicht (14‘) aus einem piezoelektrischen Material bereitgestellt wird, auf der eine Elektrode (16) eines ersten Typs abgeschieden wird. Auf die erste Schicht (14‘) und die Elektrode (16) des ersten Typs wird eine zweite Schicht (14‘‘) aus einem piezoelektrischen Material aufgebracht, auf die eine Elektrode (18) eines zweiten Typs abgeschieden wird, die mit der Elektrode (16) des ersten Typs, betrachtet in der Richtung des Aufwachsens (W) der piezoelektrischen Schichten (14), einander abschnittsweise überlappen. Die vorherigen Schritte werden mehrfach wiederholt, wobei vom so erhaltenen Stapel (10) piezoelektrisches Material entfernt wird, sodass die Elektroden (16) des ersten Typs und die Elektroden (18) des zweiten Typs von unterschiedlichen Seiten (10a, 10b) des Stapels (10) frei abstehen. Die abstehenden Abschnitte (16b, 18b) der Elektroden (16, 18) werden umgeformt, sodass jede Elektrode (16, 18) eines Typs mindestens eine andere Elektrode (16, 18) desselben Typs elektrisch leitend berührt.</p> |
