| 摘要 |
<p>Es ist ein robuster optischer Drucksensor, mit einem Grundkörper (1), einer mit dem Grundkörper (1) unter Bildung einer Messkammer (3) verbundenen Messmembran (5), deren dem Grundkörper (1) zugewandte Innenseite eine Reflexionsfläche aufweist, die darauf auftreffendes Licht reflektiert, einem optischen Wandler (11), der eine von einer druckabhängigen Durchbiegung der Messemembran (5) abhängige Membranposition (M) messtechnisch erfasst, und einer an den Wandler (11) angeschlossenen Messelektronik (13), die anhand der Membranposition (M) einen auf die Messmembran (5) einwirkenden zu messenden Druck (p) bestimmt, beschrieben, bei dem der optische Wandler (11) ein Wandler eines konfokal-chromatischen Entfernungsmessers ist, der Wandler (11) eine über eine polychromatische Lichtquelle (15) gespeiste Abbildungsoptik (17) mit wellenlängen-abhängiger Brennweite aufweist, und die Abbildungsoptik (17) eine optische Achse (L) aufweist, die durch eine durch den Grundkörper (1) hindurch führende, in der Messkammer (3) mündende Bohrung (19) hindurch verläuft, und auf die Messmembran (5), insb. eine Mitte der Messmembran (5), ausgerichtet ist.</p> |
