両頭電極マニピュレータ

摘要

ワークピース処理用の電極調整方法及び装置を開示する。このアセンブリは、第１及び第２端(126,128)を有する電極アセンブリ(124)を含むことができる。第１及び第２マニピュレータ(130,132)を、第１及び第２端に結合することができる。これらのマニピュレータを用いて、電極アセンブリの第１及び第２端を選択的に移動させて、電極を通過するイオンビームの１つ以上の特性を調整することができる。第１及び第２マニピュレータは、独立して作動可能にすることができ、これにより、電極の第１及び第２端を、互いに独立して調整することができる。開示した装置を用いる方法も開示する。