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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren für eine thermische Behandlung, insbesondere eine Beschichtung eines Substrates (9), mit einer Heizeinrichtung (11), die von einer mit einer ersten Temperatursensoreinrichtung (7, 12) zusammenwirkenden Regeleinrichtung (13) geregelt wird. Um der Temperaturdrift entgegenzuwirken, wird eine zweite Temperatursensoreinrichtung (8) zum Erkennen einer Temperaturdrift der ersten Temperatursensoreinrichtung (7, 12) und Nachkalibrierung der ersten Temperatursensoreinrichtung (7, 12), vorgeschlagen. Die erste Temperatursensoreinrichtung (7, 12) bestimmt die Temperatur an einer ersten Stelle (M1, M2, M3, M4, M5, M6) eines Suszeptors (10). Die zweite Temperatursensoreinrichtung bestimmt die Temperatur an einer zweiten Stelle des Suszeptors (10). In einem Messintervall wird mit der zweiten Temperatursensoreinrichtung (8) die Oberflächentemperatur insbesondere eines Substrates (9) gemessen. Dieser Messwert wird mit einem Sollwert verglichen, wobei bei einer Abweichung des Sollwerts vom gemessenen Istwert ein Korrekturfaktor gebildet wird, mit dem der zur Regelung der Heizeinrichtung (11) verwendete Messwert der ersten Temperatursensoreinrichtung (7, 12) beaufschlagt wird, um den von der zweiten Temperatursensoreinrichtung (8) gemessenen Temperatur-Istwert dem zugehörigen Temperatur-Sollwert anzunähern. |
