高度なＲＦ及び温度の均一性を備えた静電チャック

摘要

ＲＦ及び温度の均一性を備えた静電チャック（ＥＳＣ）が記述される。例えば、ＥＳＣは、上部誘電体層を含む。上部金属部が、上部誘電体層の下方に配置される。第２誘電体層が、複数の画素化された抵抗ヒータの上方に配置され、上部金属部によって部分的に囲まれる。第３誘電体層が、第２誘電体層の下方に配置され、第３誘電体層と第２誘電体層の間には境界線を有する。複数のビアが、第３誘電体層内に配置される。バスバー配電層が、複数のビアの下方に配置され、複数のビアに結合される。第４誘電体層が、バスバー配電層の下方に配置され、第４誘電体層と第３誘電体層の間には境界線を有する。金属ベースが、第４誘電体層の下方に配置される。金属ベースは、内部に収容された複数の高出力ヒータ要素を含む。