Ausbildung von Spacern in einer Solarzelle unter Anwendung der Sauerstoffionenimplantation

摘要

Offengelegt wird eine Solarzelle (200). Die Solarzelle (200) verfügt über eine Vorderseite (202), die unter normalen Betriebsbedingungen der Sonne zugewandt ist, sowie über eine der Sonne abgewandte Rückseite (204). Die Solarzelle umfasst ein Silikonsubstrat (210), eine erste Polysilikonschicht mit einem Bereich (227) dotierten Polysilikons auf der Rückseite des Substrats (210). Die Solarzelle umfasst zudem eine zweite Polysilikonschicht mit einem zweiten Bereich (229) dotierten Polysilikons auf der Rückseite des Silikonsubstrats (210). Die zweite Polysilikonschicht bedeckt zumindest teilweise den Bereich des dotierten Polysilikons. Die Solarzelle (200) umfasst zudem einen resistiven Bereich (224), der in der ersten Polysilikonschicht angeordnet ist. Der resistive Bereich (224) erstreckt sich von einem Rand des zweiten Bereiches (229) dotierten Polysilikons. Der resistive Bereich (224) kann durch Innenimplantation von Sauerstoff in die erste Polysilikonschicht ausgebildet werden.