Justierbarer deformierbarer Spiegel zum Ausgleich von Aberrationen eines Strahlenbündels

摘要

Die Erfindung betrifft einen justierbaren deformierbaren Spiegel (1) zum Ausgleich von Aberrationen eines Strahlenbündels mit einem Spiegelelement zur Reflexion einfallender Strahlen des Strahlenbündels, einem Grundkörper zur Halterung des Spiegelelements und mindestens einem Stellelement (4) zur Einleitung von Kräften (F) in das Spiegelelement, wobei das Spiegelelement ein Planelement (2) mit einer Dicke (d) von mindestens 1 mm ist und das Stellelement (4) ein Hebelgetriebe mit Hebelelementen (5) ist. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Ausgleich von Aberrationen eines Strahlenbündels (12.1, 12.2) sowie eine optische Anordnung mit einem erfindungsgemäßen Spiegel (1).