METHOD OF MANUFACTURING THE POLISHING PAD CONDITIONER
摘要
<p>본 발명은 연마패드 컨디셔너의 제조방법에 관한 것으로, 주조틀 상면으로 연마입자를 도포하는 단계, 주조틀 상면으로 도금층을 형성하는 단계, 도금층으로부터 주조틀을 제거하는 단계 및 도금층의 하면을 식각하여 연마입자의 일부를 노출시키는 단계로 컨디셔너를 제조하는 방식으로 컨디셔너의 표면 식각 정도에 따라 각각의 연마입자를 균일하게 노출시킬 수 있는 연마패드 컨디셔너의 제조방법에 관한 것이다.</p>
