成膜装置

摘要

本发明的目的在于提供一种成膜装置，其能够维持热分解出的材料气体的密度。该成膜装置的特征在于，具有：承受器，其具有第1部分和第2部分，其中，在该第1部分的上表面保持晶片，该第2部分与该第1部分相连；气体供给部，其向该承受器的上方供给材料气体；第1加热器，其对该第1部分进行加热；第2加热器，其对该第2部分进行加热；以及温度控制装置，其对该第1加热器和该第2加热器的温度进行控制，该温度控制装置在向该晶片的成膜过程中，通过保持该第1加热器的温度，并且使该第2加热器的温度增加，从而使该承受器的上方的温度保持为恒定。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具有：承受器，其具有第1部分和第2部分，其中，在所述第1部分的上表面保持晶片，所述第2部分与所述第1部分相连；气体供给部，其向所述承受器的上方供给材料气体；第1加热器，其对所述第1部分进行加热；第2加热器，其对所述第2部分进行加热；以及温度控制装置，其对所述第1加热器和所述第2加热器的温度进行控制，所述温度控制装置在向所述晶片的成膜过程中，通过保持所述第1加热器的温度，并且使所述第2加热器的温度增加，从而使所述承受器的上方的温度保持为恒定。