一种NiMnX合金靶材的制备方法

摘要

本发明提供了一种NiMnX(X＝In、Ga、Sn，其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制备方法。该方法将熔炼铸造法与粉末冶金法相结合，首先利用熔炼铸造法制备Ni-Mn-X合金锭，以提高合金密度，并且提高合金纯度，然后将合金锭研磨成合金粉，以提高合金的熔点，最后利用粉末冶金法制备NiMnX合金靶材。与现有技术中单纯采用熔炼铸造法或粉末冶金法制备NiMnX靶材的方法相比，本发明利用了这两种方法的优点，同时有效避免了这两种方法的不足，能够制得具有晶粒小、不易开裂、成分均匀、杂质含量低的高性能合金靶材。

主权项

一种NiMnX合金靶材的制备方法，所述NiMnX合金由Ni、Mn、X元素组成，X为In、Ga、Sn中的一种或两种以上的元素，其特征是：包括如下步骤：(1)按照靶材要求进行元素配料，然后采用熔炼铸造法制备NiMnX合金锭；(2)将步骤(1)制得的NiMnX合金锭在真空条件下研磨成粉末；(3)以步骤(2)制得的粉末为原料，采用真空热压粉末冶金法制备NiCoMnX靶材。