发明名称 具有嵌入部件的集成电路封装系统及其制造方法
摘要 一种集成电路封装系统及其集成电路封装系统的制造方法,所述集成电路封装系统包括:在部件上的嵌入材料;在所述嵌入材料上的掩模层;在所述掩模层中的掩埋图案,所述掩埋图案的外表面与所述掩模层的外表面共面,所述掩埋图案电气连接至所述部件;在所述掩埋图案的一部分上的图案化电介质;以及,在所述掩埋图案上的集成电路管芯。
申请公布号 CN104716057A 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201410784761.0 申请日期 2014.12.16
申请人 星科金朋有限公司 发明人 田东柱;朴敬熙;卢泳达;郑鉁熙
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人 滕一斌
主权项 一种集成电路封装系统的制造方法,包括:在部件上形成嵌入材料;将掩模层沉积在所述嵌入材料上;将所述掩模层图案化;将掩埋图案沉积在所述掩模层中,所述掩埋图案的外表面与所述掩模层的外表面共面,所述掩埋图案电气连接至所述部件;在所述掩埋图案的一部分上形成图案化电介质;以及将集成电路管芯安装在所述掩埋图案上。
地址 新加坡新加坡市