发明名称 |
具有嵌入部件的集成电路封装系统及其制造方法 |
摘要 |
一种集成电路封装系统及其集成电路封装系统的制造方法,所述集成电路封装系统包括:在部件上的嵌入材料;在所述嵌入材料上的掩模层;在所述掩模层中的掩埋图案,所述掩埋图案的外表面与所述掩模层的外表面共面,所述掩埋图案电气连接至所述部件;在所述掩埋图案的一部分上的图案化电介质;以及,在所述掩埋图案上的集成电路管芯。 |
申请公布号 |
CN104716057A |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201410784761.0 |
申请日期 |
2014.12.16 |
申请人 |
星科金朋有限公司 |
发明人 |
田东柱;朴敬熙;卢泳达;郑鉁熙 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 |
代理人 |
滕一斌 |
主权项 |
一种集成电路封装系统的制造方法,包括:在部件上形成嵌入材料;将掩模层沉积在所述嵌入材料上;将所述掩模层图案化;将掩埋图案沉积在所述掩模层中,所述掩埋图案的外表面与所述掩模层的外表面共面,所述掩埋图案电气连接至所述部件;在所述掩埋图案的一部分上形成图案化电介质;以及将集成电路管芯安装在所述掩埋图案上。 |
地址 |
新加坡新加坡市 |