发明名称 |
太赫兹焦平面阵列及检测与成像装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种太赫兹焦平面阵列,包括框架、悬臂梁和吸收结构;其中,吸收结构,包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列;悬臂梁,两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧,每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形成的多材料形变梁,其一端与框架固定连接,另一端与吸收结构固定连接。该太赫兹焦平面阵列形成了超材料的谐振腔,对能量低的太赫兹辐射有较强的吸收能力。 |
申请公布号 |
CN204405189U |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201520131059.4 |
申请日期 |
2015.03.06 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
李志刚;欧毅;傅剑宇;尚海平;欧文;陈大鹏 |
分类号 |
G01J5/00(2006.01)I;G01N21/3581(2014.01)I |
主分类号 |
G01J5/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京维澳专利代理有限公司 11252 |
代理人 |
党丽;韩晓莉 |
主权项 |
一种太赫兹焦平面阵列,其特征在于,包括框架、悬臂梁和吸收结构;其中,吸收结构,包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列;悬臂梁,两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧,每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形成的多材料形变梁,其一端与框架固定连接,另一端与吸收结构固定连接。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |