一种应力辅助调制的介电可调的复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应力辅助调制的介电可调的复合薄膜及其制备方法。在其基板的正表面上自下而上依次镀有ITO导电层、PT应力诱导层和PST薄膜，所述PT应力诱导层为钙钛矿相晶体结构且掺杂有杂质，所述杂质为其离子尺寸比Ti的离子尺寸大且其化合价比Ti的化合价小的金属离子。本发明制备工艺简单，所得复合薄膜的介电可调性具有优异的成分稳定性和温度稳定性，非常适用于介电可调薄膜的工业化生产。

主权项

一种应力辅助调制的介电可调的复合薄膜，其特征在于：在基板（1）的正表面上自下而上依次镀有铟锡氧化物导电层（2）、钛酸铅应力诱导层（3）和钛酸锶铅薄膜（4），所述钛酸铅应力诱导层（3）为钙钛矿相晶体结构且掺杂有杂质，所述杂质为其离子尺寸比Ti⁴⁺的尺寸大且其化合价比Ti⁴⁺的化合价小的金属离子，所述钛酸铅应力诱导层能够对钛酸锶铅薄膜的晶格施加拉应力而使所述复合薄膜的拉应力呈逐层递减的梯度分布。