| 主权项 |
一种新型蚀刻机，其特征在于它包括机架（1）、一号蚀刻槽（2）、二号鼓泡初洗槽（3）、三号鼓泡漂洗槽（4）、四号鼓泡精洗槽（5）、加热器（6）、水冷盘管（7）、三个鼓泡器（8、龙门式机械手(9)、温度传感器(10)和PLC控制器(11)，一号蚀刻槽(2)、二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)依次排列，且分别通过支架安装在机架上，且一号蚀刻槽(2)上分别设有进酸管、进水管和排水管，二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)上分别设有进水管和排水管，加热器(6)和水冷盘管(7)分别安装在一号蚀刻槽(2)内部，三个鼓泡器(8)分别安装在二号鼓泡初洗槽(3)、三号鼓泡漂洗槽(4)和四号鼓泡精洗槽(5)底部，且三个鼓泡器(8)的出气管位于槽内部，龙门式机械手(9)通过支架安装在机架(1)上，且龙门式机械手(9)的机械臂可通过轨道在四个槽上方移动，温度传感器(10)的探头位于一号蚀刻槽(2)内部，且温度传感器(10)通过模拟量输入模块与PLC控制器(11)通讯连接，PLC控制器(11)分别通过电磁阀控制进酸管、进水管、排水管和水冷盘管(7)的通断，且PLC控制器(11)分别控制加热器(6)和三个鼓泡器(8)的启停和工作时间。 |
