发明名称 |
光取向设备 |
摘要 |
本实用新型涉及一种光取向设备。所述光取向设备包括:多个承载基台,每个承载基台用于承载基板;曝光装置,所述曝光装置用于对处于其照射范围内的基板进行曝光;驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述曝光装置移动,使所述曝光装置的照射范围依次经过多个承载基台上的基板;装卸载装置,用于将位于所述曝光装置的照射范围外的承载基台上的已完成曝光的基板卸载,以及,向位于所述曝光装置的照射范围外的承载基台上装载新的基板。上述光取向设备减少了完成对一个基板的曝光所需的时间,从而提高了生产效率,增加了产能;同时,还提高了曝光装置的利用率。 |
申请公布号 |
CN204406005U |
申请公布日期 |
2015.06.17 |
申请号 |
CN201520119871.5 |
申请日期 |
2015.02.28 |
申请人 |
成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
肖印;刘锋;邓金阳 |
分类号 |
G02F1/1347(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1347(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
柴亮;张天舒 |
主权项 |
一种光取向设备,包括多个承载基台,每个承载基台用于承载基板,其特征在于,所述光取向设备还包括:曝光装置,用于对处于其照射范围内的基板进行曝光;驱动机构,用于驱动所述曝光装置移动,使所述曝光装置的照射范围依次经过多个承载基台上的基板;装卸载装置,用于将位于所述曝光装置的照射范围外的承载基台上的已完成曝光的基板卸载,以及,向位于所述曝光装置的照射范围外的承载基台上装载新的基板。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新区(西区)合作路1188号 |