一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置，它包括阳极罩，在所述阳极罩一端设有导轨，在所述导轨上设有挡板，所述挡板在导轨上作直线运动，在所述挡板一侧中部设有滚珠丝杆，在所述滚珠丝杆端部设有步进电机，在所述滚珠丝杆上设有真空箱体，在所述真空箱体与滚珠丝杆的连接处设有磁流体密封装置。本实用新型镀膜厚度可以自由调节，工作效率大大提高，结构简单，机械故障少，使用寿命长。

主权项

一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置，其特征在于：它包括阳极罩(1)，在所述阳极罩(1)一端设有导轨(2)，在所述导轨(2)上设有挡板(3)，所述挡板(3)在导轨(2)上作直线运动，在所述挡板(3)一侧中部设有滚珠丝杆(4)，在所述滚珠丝杆(4)端部设有步进电机(5)，在所述滚珠丝杆(4)上设有真空箱体(6)，在所述真空箱体(6)与滚珠丝杆(4)的连接处设有磁流体密封装置(7)。