检测系统及其检测方法

摘要

本发明公开了一种检测系统，包含有检测机、多个探针组、数据输入设备、控制器、储存器及数据输出装置。其中，该检测机具有承台及检测臂，该承台用以供待测物置放，该检测臂可相对该承台移动；该探针组设于该检测机上，且至少一探针组位于该检测臂上以与该待测物接抵；该数据输入设备用以输入该待测物的数据。该控制器与该检测臂、该检测臂上的探针组及该数据输入设备电性连接，用以依据数据控制该检测臂移动至预定位置，并使探针组与该待测物接抵进行电性检测；该储存器储存电性检测结果，并通过该数据输出装置输出。

主权项

一种检测系统，用以对待测电路进行电性检测，其特征在于，包括：检测机，具有承台以及检测臂，该承台用以供具有该待测电路的待测物置放，而该检测臂可相对该承台移动；多个探针组，设于该检测机上，且各该探针组具有至少二探针；另外，至少一该探针组位于该检测臂上并可与该检测臂同步移动，用以供与该待测电路上的待测部位接抵；数据输入设备，用以输入该待测电路的待测部位的数据；控制器，设于该检测机上，且与该检测臂、该检测臂上的至少一该探针组以及该数据输入设备电性连接，用以依据该数据输入设备输入的数据，控制该检测臂移动至预定位置，并使该检测臂上的其中一探针组与该待测电路上的待测部位接抵以进行电性检测；储存器，与该控制器电性连接，用以储存该检测臂上的该探针组与该待测电路上的待测部位接抵后的电性检测结果；以及数据输出装置，与该储存器电性连接，用以将该电性检测结果输出。