发明名称 エッチング液及びこれを用いた金属配線の形成方法
摘要 <p>Exemplary embodiments of the present invention provide a metal wiring etchant. A metal wiring etchant according to an exemplary embodiment of the present invention includes ammonium persulfate, an organic acid, an ammonium salt, a fluorine-containing compound, a glycol-based compound, and an azole-based compound.</p>
申请公布号 JP5735553(B2) 申请公布日期 2015.06.17
申请号 JP20120558063 申请日期 2011.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/308;C23F1/34;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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