一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法

摘要

本发明属于离子源技术，涉及一种悬浮式多爪栅极的注塞式绝缘紧固结构及装配方法。本发明中栅极表面具有蜂窝排布的小孔，栅极的外围为圆对称的悬浮式多爪结构，三片栅极间依靠这些悬浮爪进行紧固，采用螺杆贯穿式紧固结构固定三片栅极的每个爪，栅极之间采用凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷配合支撑，并可以使用金属薄垫片进行三片栅极间的间距调节。本发明通过对悬浮爪的调节，在保证栅极间距一致性的同时，降低了对三片栅极面形一致性的要求，两种类型陶瓷的配合使用提高了栅极间绝缘度，保障高温工作条件下大束压、大束流离子束的稳定引出。

主权项

一种悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，包括绝缘陶瓷衬套、凹型绝缘陶瓷、凸型绝缘陶瓷、螺栓、螺母，其中，螺栓上套接加速栅极，加速栅极上下两面由凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷配合固定，且凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷分别通过绝缘陶瓷衬套固定在束压栅极和接地栅极的内侧，且螺栓穿过凹型绝缘陶瓷后顺次贯穿接地栅极、加速栅极和束压栅极，再由螺母固定。