曝光机掩膜版安装装置

摘要

本发明公开了一种曝光机掩膜版安装装置，包括：用于固定掩膜版的掩膜架；设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气。本发明通过在气囊供气管路上设置气动开关阀，能够在气体供给单元供给中断后，气动开关阀自动切换到不通状态，将气囊中的气体封堵，避免气囊泄气而造成掩膜架掉落，在气体供给单元正常供给后，气动开关阀控制供气管路继续给气囊供应气体，避免了气体供给单元中断所带来的掩膜架掉落危险。

主权项

一种曝光机掩膜版安装装置，包括：用于固定掩膜版的掩膜架；设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；其特征在于，所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气；所述气囊为多个且间隔设置于所述掩膜架下方；所述供气管路包括控制管路和多个支供气管路，所述支供气管路连通所述气囊，所述控制管路连通所述气体供给单元和支供气管路；所述气动开关阀设置在所述控制管路上，或者所述支供气管路上，或者同时设置在所述控制管路和支供气管路上；所述控制管路上还设置有通气阀、总减压阀和总压力表；所述通气阀、总减压阀和总压力表设置在控制管路上靠近所述气体供给单元的一端；所述气动开关阀包括总气动开关阀，所述总气动开关阀设置在控制管路上靠近气囊的一端。