| 发明名称 | 一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热解炉，下段为中温热解炉。高温热解炉采用感应加热方式，温度的范围为1600～2500℃，中温热解炉采用电阻加热方式，温度的范围为800～1600℃。在使用过程中中温热解的残余尾气直接进入高温热解区，二次分解，路体内温度梯度过渡，不会导致中温热解产物在两个炉中间转移过程冷凝。 | ||
| 申请公布号 | CN104711540A | 申请公布日期 | 2015.06.17 |
| 申请号 | CN201310718591.1 | 申请日期 | 2013.12.13 |
| 申请人 | 南京沙壳新材料有限公司 | 发明人 | 陈照峰; |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种两段式化学气相沉积纳米金刚砂设备，其特征在于包括上下两段，上段为高温热解炉，下段为中温热解炉。 | ||
| 地址 | 211200 江苏省南京市溧水经济开发区柘塘镇柘宁东路368号 | ||