| 发明名称 | 一种微调刻蚀深度空间分布的系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种微调刻蚀深度空间分布的系统。所述系统包括运动控制系统和扫描装置；所述运动控制系统，包括上位机运动控制单元和运动控制箱。所述扫描装置，包括叶片扫描组件和束宽修正双滑门组件，其中，叶片扫描组件是一个两轴扫描运动机构，束宽修正双滑门组件是调节离子束束流宽度的双滑动门机构。 | ||
| 申请公布号 | CN204407287U | 申请公布日期 | 2015.06.17 |
| 申请号 | CN201420724635.1 | 申请日期 | 2014.11.26 |
| 申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 吴丽翔;邱克强;付绍军 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 杨学明;贾玉忠 |
| 主权项 | 一种微调刻蚀深度空间分布的系统，其特征在于：包括运动控制系统和扫描装置；所述运动控制系统，包括上位机运动控制单元和运动控制箱；所述扫描装置，包括叶片扫描组件和束宽修正双滑门组件，其中，叶片扫描组件是一个两轴扫描运动机构，束宽修正双滑门组件是调节离子束束流宽度的双滑动门机构。 | ||
| 地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 | ||