| 摘要 |
【課題】太陽電池として用いるシリコン基板と銅電極配線との間の相互拡散を抑止し、銅配線の密着性を高め、オーミック接触特性を得るための界面層を提供する。【解決手段】シリコン基板１を有するシリコン太陽電池において、前記シリコン基板上に形成された金属酸化物層１００と、前記金属酸化物層上に形成された銅を主体とする配線１０と、を備え、前記金属酸化物層は、（ａ）チタンまたはマンガンのいずれか１種と、（ｂ）バナジウム、ニオブ、タンタルまたはシリコンのいずれか１種と、（ｃ）銅およびニッケルの少なくとも一種とを含む。また、前記金属酸化物層は、銅またはニッケルが金属粒子として金属酸化物層の内部に分散するものを含む。【選択図】図１ |
