研磨装置および研磨方法

摘要

研磨装置１は、被加工物を装入する加工容器１０と、加工容器内において被加工物を流動させる流動化ユニットと、研磨材を被加工物に向けて投入させる研磨材投入ユニット３０と、研磨材が加工容器１０を通過する方向に向かう気流を発生させると共に、研磨材を吸引して回収する吸引ユニット４０と、を備える。研磨材投入ユニット３０から投入された研磨材は、吸引ユニット４０から発生する気流によって、加工容器１０内に装入された被加工物の間を、被加工物に接触しながら通過する。これにより、被加工物が研磨される。