探针点测系统

摘要

本发明公开了一种探针点测系统，其包含升降载台、至少一个探针装置、至少一个形变感应回路、接触感应回路、测试回路、第一开关与第二开关。升降载台用以承载待测物。探针装置位于升降载台上方，探针装置包含力臂、探针与至少一个感应元件。探针连接于力臂的一端。感应元件位于力臂上，当力臂受力而变形时，感应元件随力臂的变形量而产生观测值变化。形变感应回路电性连接感应元件，用以接收观测值变化。接触感应回路包含电源与针压感应单元。针压感应单元电性连接电源，且具有升压元件与探针连接线路。因此探针点测系统可以通过接触感应回路缩短检测待测物的时间，并通过形变感应回路确保探针以预定的针压确实与待测物抵接。

主权项

一种探针点测系统，其特征在于，包含：一升降载台，其用以承载一待测物；至少一个探针装置，其位于所述升降载台上方，所述至少一个探针装置包含：一力臂；一探针，其连接于所述力臂的一端；以及至少一个感应元件，其位于所述力臂上，当所述力臂受力而变形时，所述至少一个感应元件随所述力臂的变形量而产生一观测值变化；至少一个形变感应回路，其电性连接所述至少一个感应元件，用以接收所述观测值变化；一接触感应回路，其包含；一电源；以及一针压感应单元，其电性连接所述电源，且具有一升压元件与一探针连接线路，其中所述探针连接线路与所述升压元件并联；一测试回路，其用以通过所述至少一个探针装置输入一电流至所述待测物；以及一第一开关与一第二开关，所述第一与所述第二开关与所述至少一个探针装置电性连接，当所述至少一个探针接触所述待测物时，所述第一开关与所述第二开关选择性地电性连接所述探针连接线路或所述测试回路。