一种TEM 的样品制备方法

摘要

本发明提供一种TEM的样品制备方法，其在使用FIB制备TEM样品之前，先在目标附近做记号以定位目标，之后在样品表面粘贴或沉积一层透明材料，最后对样品进行截面研磨，当研磨到记号时再用FIB在截面上根据记号的位置做TEM样品制备。这样当分析目标离样品表面很近或暴露于表面时，在样品表面粘贴或沉积一层透明材料再进行截面研磨，可以对目标区域起到保护作用，防止研磨时损坏到目标；同时，该方法在制备TEM样品时避免了所镀铂层直接接触目标，完全避免FIB镀铂层时对目标表面造成的损伤，以保证目标的完整性，确保分析结果的可靠性。

主权项

一种TEM的样品制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)提供一含有目标的样品，在所述样品内、距离所述目标为L的一侧做标记；2)然后在所述样品表面粘贴或沉积一层透明材料；3)对步骤2）之后获得的结构从标记邻近端进行研磨，直至暴露出之前所做的标记；4)根据暴露出来的标记确定目标位置，在所述研磨之后形成的截面上对应目标的位置处镀一层铂层；5)使用FIB对步骤4）之后获得的样品进行切割和减薄，得到所需的TEM样品。