发明名称 一种卡匣及基板转移装置
摘要 本发明公开了一种卡匣和基板转移装置。根据本发明的卡匣包括:第一框体,第一框体包括至少一组第一导轨;至少一个移动面,移动面设置在第一框体内并可沿第一导轨滑动,移动面可通过磁性吸附固定在第一框体上。根据本发明的基板转移装置,包括根据本发明的卡匣及其承载装置,承载装置包括第二框体以及安装在第二框体内的旋转单元,其中,旋转单元包括:旋转框及设置在旋转框中心用于带动旋转框旋转的旋转轴。根据本发明卡匣的移动面可以牢固的固定在第一框体上,也能自由移动改变子卡匣大小;根据本发明的基板转移装置可以自动并精确调节子卡匣大小,并能使卡匣旋转来转调整需要装载基板的位置。
申请公布号 CN104714317A 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201510160948.8 申请日期 2015.04.07
申请人 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 徐敏
分类号 G02F1/13(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 G02F1/13(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种卡匣,其特征在于,该卡匣包括:第一框体(1100),所述第一框体(1100)包括至少一组第一导轨(1110);至少一个移动面(1200),所述移动面(1200)设置在所述第一框体(1100)内并可通过驱动沿所述第一导轨滑动,所述移动面(1200)可通过磁性吸附固定在所述第一框体(1100)上。
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