发明名称 柔性装置及其制作方法
摘要 本发明提供了一种柔性装置及其制作方法,该方法包括:在刚性基底上形成牺牲层;在所述牺牲层之上形成反射层;在所述反射层的上方制作柔性显示器件;使用激光照射所述牺牲层,将刚性基底剥离。本发明中,由于在牺牲层上方还形成有反射层,能够在进行剥离时,将照射的激光反射回牺牲层,这样就增加了牺牲层所吸收的激光的能量。从而能够降低剥离过程中所需要使用的激光的能量。
申请公布号 CN104716081A 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201510138382.9 申请日期 2015.03.26
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 刘陆;谢明哲
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李相雨
主权项 一种柔性装置的制作方法,其特征在于,包括:在刚性基底上形成牺牲层;在至少一部分所述牺牲层之上形成反射层;在所述牺牲层和所述反射层的上方制作柔性基底层;使用激光照射所述牺牲层,将刚性基底剥离。
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号