发明名称 一种氧化物薄膜晶体管及制作方法和阵列基板、显示装置
摘要 本发明公开了一种氧化物薄膜晶体管TFT及制作方法和阵列基板、显示装置,用以防止侧漏光或曝光反射光或外界光等光线在源极层、漏极层界面发生反射,进而减小光线对氧化物有源层的影响,提高氧化物TFT的性能和信赖性。所述氧化物薄膜晶体管TFT,包括:基板、依次形成在所述基板上的栅极、栅极绝缘层、源极层、漏极层,其特征在于,在所述栅极绝缘层和所述源极层之间,以及在所述栅极绝缘层和所述漏极层之间,还包括:遮光层。
申请公布号 CN104716197A 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201510133535.0 申请日期 2015.03.25
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 何璇;吴俊纬;刘兴东
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种氧化物薄膜晶体管TFT,包括:基板、依次形成在所述基板上的栅极、栅极绝缘层、源极层、漏极层,其特征在于,在所述栅极绝缘层和所述源极层之间,以及在所述栅极绝缘层和所述漏极层之间,还包括:遮光层。
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