散热单元及其制造方法以及散热模组

摘要

一种散热单元及其制造方法以及散热模组，所述散热单元，系包含：一金属本体具有一腔室及一氧化物薄膜及工作流体，所述氧化物薄膜系披附于该腔室表面，透过该金属本体内部披附氧化物薄膜不仅可取代毛细结构外，更可加速工作流体于该散热单元之腔室内之汽液循环，从而提升散热效能。

主权项

一种散热模组，系包含：一蒸发腔体，具有一主腔室及一入口及一出口；一散热单元，具有一金属本体，该金属本体具有一腔室及一氧化物薄膜，所述氧化物薄膜披附于该腔室表面，该散热单元之两端分别连接前述入口及该出口，其中所述散热单元连接该蒸发腔体出口之一端所披附之氧化物薄膜系为疏水性薄膜，所述散热单元连接该蒸发腔体入口之一端所披附之氧化物薄膜系为亲水性薄膜。