发明名称 新規の樹脂およびこれを含むフォトレジスト組成物
摘要 Provided are new resins that comprise multi-ring, aromatic and/or multi-cyclic ester unit which preferably are photoacid-labile. Also provided are chemically-amplified positive photoresist that comprise such resins as well as multi-ring, aromatic and/or multi-cyclic ester monomers.
申请公布号 JP5735220(B2) 申请公布日期 2015.06.17
申请号 JP20100115708 申请日期 2010.05.19
申请人 ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC 发明人 コン・リュウ;チェン−バイ・スー
分类号 G03F7/039;C08F20/10;C08F32/04 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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