一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器

摘要

本发明提供一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器，所述MEMS热光可调谐滤波器包括半波共振腔采用AlN或GaN热光可调介质薄膜材料的多腔光学干涉薄膜滤光层、以及微加热器，通过控制所述微加热器的工作电流，可以调节所述MEMS热光可调谐滤波器的中心波长。本发明采用AlN、GaN作为光学干涉薄膜中半波共振腔的腔体材料，其既具有较高的热光系数，又具有较低的消光系数，可以大幅度降低窄带可调谐滤波器的光学损耗。本发明可以有效改善现有MEMS热光调谐滤波器存在的光损耗大且滤波波形不能满足应用的问题，在光通信、光传感领域具有良好的应用前景。

主权项

一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器，其特征在于，所述MEMS热光可调谐滤波器包括半波共振腔采用AlN或GaN热光可调介质薄膜材料的多腔光学干涉薄膜滤光层、以及微加热器，通过控制所述微加热器的工作电流，可以调节所述MEMS热光可调谐滤波器的中心波长。