一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。气体传感器包括绝缘衬底、信号电极和气敏层；气敏层由半导体纳米晶复合材料和石墨烯构成。利用胶态法合成半导体纳米晶溶液，能在室温下直接成膜，不需要经过高温处理，能耗小，且不会造成纳米颗粒的团聚，能够最大限度地发挥纳米颗粒比表面积大的优势，有利于气体吸附，提高传感器的灵敏度，使传感器能在较低的工作温度甚至常温下检测低浓度目标气体。制备方法简单，易于实现大规模批量生产。

主权项

一种半导体电阻式气体传感器，其特征在于，包括绝缘衬底、信号电极和气敏层；其中，所述气敏层由胶态纳米晶复合材料和石墨烯构成，所述胶态纳米晶复合材料由两种胶态纳米晶复合而成。