銅系膜形成方法、銅系膜形成材料

摘要

超臨界流体中で基体上に銅系膜を形成する方法であって、超臨界流体中に（Ｎ，Ｎ’−ジイソプロピルプロピオンアミジネート）銅２量体を溶解し、基体上に銅を堆積させ、銅系膜を形成する。