发明名称 检测系统的运作方法
摘要 本发明公开了一种检测系统的运作方法,该检测系统具有一检测机以及一探针模块,且该探针模块一第一探针组及一第二探针组,且该第一探针组与该第二探针组中的一个可与该检测机连接;该运作方法包括下列步骤:先连接该检测机与该第一探针组,并校正该检测系统后,将该第一探针组与一待测物抵接,并对该待测物进行电性检测;而后,将该第一探针组与该待测物分离,并分离该检测机与该第一探针组;之后,连接该检测机与该第二探针组,并重新校正该检测系统,且将该第二探针组与该待测物抵接,以对该待测物进行电性检测。
申请公布号 CN104714122A 申请公布日期 2015.06.17
申请号 CN201410680755.0 申请日期 2014.11.24
申请人 旺矽科技股份有限公司 发明人 顾伟正;吕绍玮;魏豪;王友泽
分类号 G01R31/00(2006.01)I;G01R35/00(2006.01)I 主分类号 G01R31/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种检测系统的运作方法,该检测系统具有一检测机以及一探针模块,且该探针模块一第一探针组以及一第二探针组,且该第一探针组与该第二探针组中的一个可与该检测机电性连接;该运作方法包括下列步骤:A、电性连接该检测机与该第一探针组;B、校正该检测系统;C、将该第一探针组与一待测部位抵接,并对该待测部位进行电性检测;D、将该第一探针组与该待测物分离;E、电性分离该检测机与该第一探针组;F、电性连接该检测机与该第二探针组;G、重新校正该检测系统。
地址 中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼