硬罩幕组成物及使用硬罩幕组成物的图案形成方法

摘要

揭示硬罩幕组成物以及使用硬罩幕组成物的图案形成方法。硬罩幕组成物包括由下列化学式1表示的高分子、由下列化学式2表示的单体以及溶剂，其中所包含的单体的含量等同于或高于高分子的含量。

主权项

一种硬罩幕组成物，包括：高分子，由下列化学式1表示；单体，由下列化学式2表示；以及溶剂；其中所包含的所述单体的含量等同于或高于所述高分子的含量：其中，在所述化学式1或化学式2中，R₁为单键或经取代或未经取代的C1至C10亚烷基，R₂至R₆各自独立地为氢、羟基、经取代或未经取代的C1至C30烷基、经取代或未经取代的C3至C30环烷基、经取代或未经取代的C6至C30芳基、经取代或未经取代的C3至C30环烯基、经取代或未经取代的C7至C20芳烷基、经取代或未经取代的C1至C20杂烷基、经取代或未经取代的C2至C30杂环烷基、经取代或未经取代的C2至C30杂芳基、经取代或未经取代的C1至C30烷氧基、经取代或未经取代的C2至C30烯基、经取代或未经取代的C2至C30炔基、经取代或未经取代的C1至C20醛基、经取代或未经取代的C1至C4烷基醚、经取代或未经取代的C7至C20芳基亚烷基醚、经取代或未经取代的C1至C30卤烷基或其组合，AR1以及AR2各自独立地为经取代或未经取代的C6至C20芳基，x+y＝1、0≤x≤1且0≤y≤1，以及n为1至200范围内的整数。