一种气体供应装置及其等离子体反应装置

摘要

本发明公开了一种气体供应装置及其等离子体反应装置，所述气体供应装置装置包括一反应气体源，所述反应气体源通过第一控制阀门连接一气体存储器，所述气体存储器连接一压力测量装置，所述气体存储器通过第二控制阀门将反应气体输送到真空反应腔内。采用体积固定的气体存储器，通过对其内部压强的监测可以方便、精确的控制气体进入反应腔的流量，同时，使用控制阀门可以快速的实现气体存储器的充气和放气，改善了传统技术中由于采用流量控制装置MFC导致的气体切换速率达不到要求导致的硅通孔侧壁上的扇贝状粗糙面严重，以及在射频功率为脉冲输出时反应气体的浪费等问题。

主权项

一种气体供应装置，其特征在于，所述装置包括一反应气体源，所述反应气体源通过第一控制阀门连接一气体存储器，所述气体存储器连接一压力测量装置，所述气体存储器通过第二控制阀门将反应气体输送到真空反应腔内。