一种真空室气压调节器

摘要

本发明公开了一种真空室气压调节器，具体的说是一种可以用于调控质谱仪真空室内气压的进样装置，该装置包括真空室、毛细管A、毛细管B、密封帽及密封垫、真空阀、分流腔体和真空泵；本发明的特点是通过调节真空阀,可以调控进入真空室的气体量，从而使真空室内气压可调，可以有效根据质谱仪工作需求调节质谱仪的进气量，同时可以有效减少更换毛细管过程中带来的拆卸质谱的麻烦。此外，可以通过调节真空阀使毛细管A的工作气压范围在0.1～3MPa。

主权项

一种真空室气压调节器，其特征在于：包括真空室（1）、真空调节阀（5）、真空泵（6）、分流腔体（7）；所述分流腔体（7）为中空的腔体，腔体上设置有三个通孔，其中第一通孔通过管道一与外界空接，第二通孔通过管道二与真空室（1）密封相连，第三通孔通过管道三与真空泵（6）密封相连；所述真空调节阀（5）设置在真空泵（6）和分流腔体（7）之间的管道三上。