一种厚膜热释电敏感元及其制备方法

摘要

本发明属于电子材料与元器件技术领域，具体涉及了一种厚膜热释电红外敏感元及其制备方法。厚膜热释电红外敏感元，包括：用作公用电极和红外辐射吸收面厚度为10nm-500nm的上电极；设置在上电极和下电极之间，由热释电陶瓷粉体和有机热释电聚合物复合制备，厚度为1-100um的热敏感层；用于引出热释电响应信号厚度为10nm-1um的下电极。根据热释电红外敏感元类型不同，对所述红外敏感元的上电极和下电极进行图形化。应用于民用领域的各类安全防盗、人体探测等。具有热绝缘效果好，对微弱环境温度变化更敏感，灵敏度更高，且制造工艺简单，成本低，易于批量加工，有利于产业化生产。

主权项

一种厚膜热释电红外敏感元，其特征在于，包括:上电极，以Pt、Au、Cu、Ni或NiCr为电极材料，采用溅射、蒸镀或激光脉冲沉积PLD工艺沉积在热敏感层上表面，其厚度为10nm‑500nm；所述上电极用作公用电极和红外辐射吸收面；热敏感层，设置在上电极和下电极之间，由热释电陶瓷粉体和有机热释电聚合物复合制备，其厚度为1‑100um；下电极，采用Pt、Au、Cu、Ag、Ni或NiCr为电极材料，采用溅射、蒸镀、PLD或丝网印刷工艺沉积在热敏感层下表面，其厚度为10nm‑1um；所述下电极用于引出热释电响应信号。